| 刊名 | 《机械工程》 | ||||
| 作者 | 韩锋刚 （内蒙古大全新能源有限公司） | 英文名 | Mechanical engineering | 年，卷(期) | 2025年,第5期 |
| 主办单位 | 环宇科学出版社;华文国际出版社 | 刊号 | ISSN：2661-3530(P)/2661-3549(O) | DOI | 10.12361/2661-3549-07-05-0347 |
屏蔽泵是在化工系统应用比较广泛的设备，主要用于输送易燃易爆有毒有害介质，多晶硅生产过程中应用广泛，但是在实际使用过程中， 由于硅粉、气缚、气蚀等现象，造成屏蔽泵经常容易出现故障，本文就屏蔽泵在使用过程中典型故障及预防措施进行分析。
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