屏蔽泵是在化工系统应用比较广泛的设备，主要用于输送易燃易爆有毒有害介质，多晶硅生产过程中应用广泛，但是在实际使用过程中， 由于硅粉、气缚、气蚀等现象，造成屏蔽泵经常容易出现故障，本文就屏蔽泵在使用过程中典型故障及预防措施进行分析。