MEMS 陀螺仪是一种基于 MEMS 技术的微型惯性器件。为进一步提升 MEMS 器件的性能，补偿校准技术通常是是一种有效手段。介绍了目前国内外 MEMS 陀螺仪常用的的几种自校准技术，包括基本原理，应用要求和优缺点等。随着自校准技术的逐步深入研究，自补偿和自校准技术从传统单一的温度自补偿逐步和静电模拟激励信号的自校准技术,逐步发展到利用陀螺对不同信号的差异性特性的自补偿和自校准技术。可以预见 MEMS 陀螺仪自补偿与自校准技术将成为今后MEMS 器件性能提升的一项关键技术,而 MEMS 陀螺仪实时自校准技术将成为未来 MEMS 陀螺仪自补偿和自校准技术的发展热点。